過酷なプロセスのための迅速かつ正確なの温度制御

熱電温度制御システムLAUDASemistatプラズマエッチングプロセスに安定した再現性の温度制御を提供する。システム動的に静電チャックを制御する(ESC)の温度を測定し、任意のエッチングプロセスで使用することができます。LAUDA Semistat熱電温度制御システムの設計の基礎はパルチザン原理に基づく温度変換であり、これらの原本は迅速かつ正確に実現できるの温度制御は、現在の部品の生産サイズがますます小さくなるという要求を満たしている。

ホットスポットは、圧縮機ベースのシステムと比較して、Semistat温度制御システムをオンラインで使用し、電力消費量を最大90%削減します。使用場所の地下に設置でき、非常に省スペースで、クリーンルームの使用を大幅に減らすことができます。プロセス温度曲線を迅速かつ正確に±0.1 Kに制御し、ウェハ間の均質性を向上させる。

重要な機能：

• 低エネルギー消費、圧縮機と冷媒のないシステム
• 床の下に置くとSub-Fabを占有しないスペースが小さい
• 極めて低い熱伝導性液体充填量

技術パラメータ：